单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统 作者：郭斌陈士清中科院上海微系统与信息研究所传感器国家重点实验室（上 海200333) 时间：2008-03-13来源：电子产品世界 摘要：传感器技术是信息社会的四大支柱之一，传感器和计算机结合形成的智能 系统大大的拓展了人类生活的空间。在传感器家族中，根据电容的物理特性制作 的传感器占有重要地位。电容传感器是很好的状态传感器，可提高电容检测，尤 其是微小电容检测的精度，是目前测控技术的热点。本文重点介绍一套微小电容 差分高精度检测电路，该套电路可测物体的运动加速度，加速度计的分辨率可达 2-18。 关键词：电容式传感器；MEMS;信号调理；检测电路 电容式传感器工作原理 电容式传感器分单电容式和差分电容式二种。如图1所示。 (a)单电容传感器 (b)差分电容传感器 图1单电容式和差分电容式传感器 图1(a)为两平行板组成的电容器，图1(b)为两平行板中间插入极板组成的 差分电容传感。对图1(a)而言，当忽略电容器的边界效应时：单电容式及差分电容式 MEMS 传感器检测系统 作者：郭斌 陈士清 中科院上海微系统与信息研究所 传感器国家重点实验室(上 海 200333) 时间：2008-03-13 来源: 电子产品世界 摘要：传感器技术是信息社会的四大支柱之一，传感器和计算机结合形成的智能 系统大大的拓展了人类生活的空间。在传感器家族中，根据电容的物理特性制作 的传感器占有重要地位。电容传感器是很好的状态传感器，可提高电容检测，尤 其是微小电容检测的精度，是目前测控技术的热点。本文重点介绍一套微小电容 差分高精度检测电路，该套电路可测物体的运动加速度，加速度计的分辨率可达 2 -18。 关键词：电容式传感器；MEMS；信号调理；检测电路 电容式传感器工作原理 电容式传感器分单电容式和差分电容式二种。如图 1 所示。 (a) 单电容传感器 (b) 差分电容传感器 图 1 单电容式和差分电容式传感器 图 1(a)为两平行板组成的电容器，图 1(b)为两平行板中间插入极板组成的 差分电容传感。对图 1(a)而言，当忽略电容器的边界效应时：