2透射式缩小曝光 优点:图形分辨率高 缺点:设备昂贵曝光效率低 ↓;+照射光线 中间掩模 缩小透镜d 图1-19透射式缩小曝光系统原理图 a)区域分割示意图b)其中一个分割区的曝光2.透射式缩小曝光 优点:图形分辨率高 缺点:设备昂贵,曝光效率低