平面研磨使用的研具 1)特种玻璃,或用在加工成平面的金属板 上涂一层四氟乙烯或镀铅和铟; 优点:能得到高精度的平面 缺点:研具层寿命短 2)使用半软质研磨盘或软质研磨盘 优点:研磨出的表面变质层很小,表面粗糙 度也很小; 缺点:研磨盘不易保持平面度 2021/2/212021/2/21 二、平面研磨使用的研具 1）特种玻璃，或用在加工成平面的金属板 上涂一层四氟乙烯或镀铅和铟； 优点：能得到高精度的平面 缺点：研具层寿命短 2）使用半软质研磨盘或软质研磨盘 优点：研磨出的表面变质层很小，表面粗糙 度也很小； 缺点：研磨盘不易保持平面度