部超得平磨8 精密平面的研磨机 加压力 减速机构 b) 图7-3双面平面研磨机 图7-4工件保持架作成行星轮形式 工作原理图 a)工件保持架和内齿轮、小齿轮啮合 1—内齿轮2-下研磨盘3-上 b)不同工件保持架形式 研磨盘4一小齿轮 件 6-工件保持架(行星轮) 2021/2/212021/2/21 第3节 超精密平面研磨和抛光 一、精密平面的研磨机