第五章集成传感器 ■将敏感元件、信号调理电路等制作在同 芯片上,使传感器具有很高的性能。 如:集成压敏、温敏和磁敏传感器。 第一节集成压敏传感器 两类:1)硅电容式 2)扩散硅式第五章 集成传感器 ◼ 将敏感元件、信号调理电路等制作在同 一芯片上，使传感器具有很高的性能。 如：集成压敏、温敏和磁敏传感器。 第一节 集成压敏传感器 两类：1）硅电容式 2）扩散硅式