硅电容式集成传感器 ■由硅压力敏感电容器、转换电路和辅助 电路构成。 1硅敏感电容器 压敏电容器电容量与极板距离和面积有关 Si lal 玻璃 图5-1硅压敏电容器结构一、硅电容式集成传感器 ◼ 由硅压力敏感电容器、转换电路和辅助 电路构成。 1.硅敏感电容器 压敏电容器,电容量与极板距离和面积有关