(a) 90858075706560 555045403530252020 5552 (b) 签 建 露 手 8 人 90858075706560555045403530252020 (c> 室 15 08580757065G0555045403530252020 (d) 90858075706560555045403530252020 图5不问沉积温度的钽涂层X光行射强度谱找(Cu靶，40KV,35ntA,Rn=4×10C/S) (a)1100C(30分钟)(b)1050C(30分钟)(C)1000C(30分钟)(d)900°C(30分钟) 图6是在不同温度下的涂层，用电镜观测的形貌。 () 64华 二 次﹄伙 盆 ‘ “”“比“ 伙 怜习琦 ，︸目 切份小‘ 趁葬又班 牙奋﹄ 怪冬 键耳 ︸价寸 · 解勺导 ︸跳 赤赫赫瑞蕊有偷穿氛而而瓜厄。 幼 ， 蔚 。 左弓一左 丽飞 仃 。 答嘴 套 气流呀 之婉 卜 ‘ 、 煞 终 最腻 荻巫逐些迎些乡 粼橄娜莎橇俞 图 不 同 沉 积 温度 的担涂层 光衍射强 度谱套交 肥 ， ， 川 ， 。 “ 分钟 ‘ 分钟 ‘ 分钟 。士 。 分钟 图 是在不同温 度下 的涂层 ， 用电镜观测的形 貌