(三)离子检测器 经过质量分析器分离后的离子,达到检测系统进行检测,即可得到质谱图 离子的检测器和记录器主要有3种 电子倍增管 电子倍增管种类很多,在原理上与第2章介绍的光电倍增管类似,但所涉及 的是二次电子发射效应。加速的离子轰击电子倍增管的转换极发射出二次电子, 然后被后续的一系列次级电子发射极(倍增管)放大。涂有铜铍的转换极和倍 增管可以在离子或电子的轰击下发射岀倍增数量的电子。转换极上不加电压,以 免对离子束造成影响,而在各倍增极上有100~300V的电压差。一般地,电子倍 增管可配置多至20个的倍增极,总电压差为3~6kV,将电流放大107倍。 电子倍增管稳定可靠,电流增益高且响应时间在纳秒级。这类检测器可以直 接装在磁质量分析器后面,因为其引出的离子具有足够的能量在转换极上溅射出 电子。将离子束用几干伏的电压加速后,电子倍增管也可用于低能量离子束的质 量分析器(即四极质量分析器)一起使用。 2.法拉第筒 法拉第筒中,被接收的离子束经入口狭缝打在收集板上。收集板与进入的离 子束成斜面,使得轰击或离开电极的粒子远离筒的入口。收集极和筒通过一个大 电阻接地,形成的电压降经直流放大器放大,然后进行测量。入口狭缝的作用是 阻止不需要检测的离子进入接收器。改变入口狭缝宽度,在一定程度上可以改变 仪器的分辨率 法拉第筒接收器适于低加速电压的仪器。在加速电压大于IkV时,离子在碰 撞入口狭缝极板和接收器,可以有足够的能量产生二次电子,甚至二次离子,使（三）离子检测器 经过质量分析器分离后的离子，达到检测系统进行检测，即可得到质谱图。 离子的检测器和记录器主要有 3 种。 1．电子倍增管 电子倍增管种类很多，在原理上与第 2 章介绍的光电倍增管类似，但所涉及 的是二次电子发射效应。加速的离子轰击电子倍增管的转换极，发射出二次电子， 然后被后续的一系列次级电子发射极（倍增管）放大。涂有铜/铍的转换极和倍 增管可以在离子或电子的轰击下发射出倍增数量的电子。转换极上不加电压，以 免对离子束造成影响，而在各倍增极上有 100~300V 的电压差。一般地，电子倍 增管可配置多至 20 个的倍增极，总电压差为 3~6kV，将电流放大 107 倍。 电子倍增管稳定可靠，电流增益高且响应时间在纳秒级。这类检测器可以直 接装在磁质量分析器后面，因为其引出的离子具有足够的能量在转换极上溅射出 电子。将离子束用几千伏的电压加速后，电子倍增管也可用于低能量离子束的质 量分析器（即四极质量分析器）一起使用。 2．法拉第筒 法拉第筒中，被接收的离子束经入口狭缝打在收集板上。收集板与进入的离 子束成斜面，使得轰击或离开电极的粒子远离筒的入口。收集极和筒通过一个大 电阻接地，形成的电压降经直流放大器放大，然后进行测量。入口狭缝的作用是 阻止不需要检测的离子进入接收器。改变入口狭缝宽度，在一定程度上可以改变 仪器的分辨率。 法拉第筒接收器适于低加速电压的仪器。在加速电压大于 1kV 时，离子在碰 撞入口狭缝极板和接收器，可以有足够的能量产生二次电子，甚至二次离子，使