MEMs技术 ■MEMs技术集成了电子技术、传感器技术、材料 技术等多领域的技术成果,是包含微电子器件和 各种非电处理单元——压力、温度、化学、机械 光学传感、执行元件于一身的微型器件 ■MEMs是现代技术的一个新的发展方向,它起源 于上世纪的60年代,并正逐渐发展成为一个独立 的产业◼ MEMs技术集成了电子技术、传感器技术、材料 技术等多领域的技术成果，是包含微电子器件和 各种非电处理单元——压力、温度、化学、机械 、光学传感、执行元件于一身的微型器件 ◼ MEMs是现代技术的一个新的发展方向，它起源 于上世纪的60年代，并正逐渐发展成为一个独立 的产业 MEMs技术