MEMs和NEMs ■ Scale-up& scale-down:现代技术一方面表现为 工程的规模越来越大,如三峡工程、人工登月计 划等;另一方面,又越来越强调材料、器件、功 能的小型化、微型化,如IC、MEMs技术等 ■这些都是集现代技术之大成的产物。其中,所谓 纳米技术就是目前最热的研究领域 ■ Bottom-up& top-down技术:纳米技术中的后者 是从宏观尺度的材料开始,运用各种加工手段, 形成微观尺度的系统的技术。在本课程中主要介 绍后者◼ Scale-up & scale-down：现代技术一方面表现为 工程的规模越来越大，如三峡工程、人工登月计 划等；另一方面，又越来越强调材料、器件、功 能的小型化、微型化，如IC、MEMs技术等 ◼ 这些都是集现代技术之大成的产物。其中，所谓 纳米技术就是目前最热的研究领域 ◼ Bottom-up & top-down技术：纳米技术中的后者 是从宏观尺度的材料开始，运用各种加工手段， 形成微观尺度的系统的技术。在本课程中主要介 绍后者 MEMs和NEMs