提要 ◆ MEMs发展简介 ◆ MEMs的制备技术基础 ◆ 典型应用的M_中国高校课件下载中心

点击下载：北京科技大学材料科学学院：《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第九讲微机电技术和纳米机电技术 MicroEelectroMechanical & NanoEelectroMechanical systems（MEMs & NEMs）

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