绝缘层 TFT中薄膜的分类 半导体有源层 绝缘基板 顶栅底接触结构 1.广义上：气态薄膜、液态薄膜、固体薄膜 2.按结晶状态：非晶体、多晶、单晶 3.从化学角度：有机、无机薄膜 4.依元素分：金属薄膜、非金属薄膜 5.按物理性能：金属导电薄膜、半导体薄膜、介电薄膜等TFT中薄膜的分类 1. 广义上：气态薄膜、液态薄膜、固体薄膜 2. 按结晶状态：非晶体、多晶、单晶 3. 从化学角度：有机、无机薄膜 4. 依元素分：金属薄膜、非金属薄膜 5. 按物理性能：金属导电薄膜、半导体薄膜、介电薄膜等 顶栅底接触结构