点击下载:电子科技大学:《薄膜晶体管原理与技术 The Principle and Technology of Thin Film Transistor》课程教学资源(课件讲稿)第2章 薄膜技术(陈文彬)
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薄膜的制备方法 化学气相沉积 磁控溅射 电子束蒸发 直流溅射 薄膜制备方法 脉冲激光沉积 真空热蒸发薄膜的制备方法
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