不同环境下洁净级别数与对应的颗粒大小 环境 级别数 最大颗粒 尺寸限度 (微米) 256MB内存加工车间 0.01 微环境 0.1 <0.1 超大规模集成电路加工车间 0.1 特大规模集成电路加工车间 10 0.3 空气层流立式 100 工作台装配区 100010000 0.5 库房 100000 室外 500000• 不同环境下洁净级别数与对应的颗粒大小 环境 级别数 最大颗粒 尺寸限度 （微米） 256 MB 存加工车间 内 微环境 超大规模集成电路加工车间 特大规模集成电路加工车间 空气层流立式 工作台装配区 库房 室外 0.01 0.1 1 10 100 1000~10 000 100 000 >500 000 <<0.1 <0.1 0.1 0.3 0.5 0.5