5.3.3净化空气的方法 洁净室的设计是要使生产免污染芯片的能力 更完整化。设计时的主要思路是保持加工车间中 空气的洁净。另外提高生产自动化水平也是降低 污染的一种有效方法。共有4种不同的洁净室设计 方法: ·洁净工作台 隧道型设计 完全浩净室 ·微局部环境 具体就不作详细的介绍,下面通过几组图片 的浏览使大家有个初步的印象。5.3.3 净化空气的方法 洁净室的设计是要使生产免污染芯片的能力 更完整化。设计时的主要思路是保持加工车间中 空气的洁净。另外提高生产自动化水平也是降低 污染的一种有效方法。共有4种不同的洁净室设计 方法： • 洁净工作台 • 隧道型设计 • 完全洁净室 • 微局部环境 具体就不作详细的介绍，下面通过几组图片 的浏览使大家有个初步的印象