(MEMS)机械式光开关 MEMS:Micro Electronic and Mechanical System 利用硅材料和微电子加工技术制作的微机械装置 MEMS器件 可调谐器件 微FP腔 可调光衰减器 光调制器 低速率、低成本 接入网 光滤波器 •复用/解复用器 光栅 2022/10/7 22022/10/7 2 （MEMS）机械式光开关 MEMS：Micro Electronic and Mechanical System 利用硅材料和微电子加工技术制作的微机械装置 MEMS器件 •可调谐器件 •微F-P腔 •可调光衰减器 •光调制器 •低速率、低成本 •接入网 •光滤波器 •复用/解复用器 •光栅