S414.mems器件 mems已经在光衰减器、光学开关、光电力学、 光学系统调谐及集成、光学扫描、光电图像传感 器方面获得了越来越多的应用。 2022/10/7 12022/10/7 1 S4-14. mems器件 mems已经在光衰减器、光学开关、光电力学、 光学系统调谐及集成、光学扫描、光电图像传感 器方面获得了越来越多的应用