D0I:10.13374/j.issn1001-053x.1989.03.026 北京科技大学学报 第11卷第3期 Vol.11 No.3 1989年5月 Journal of University of Science and Technology Beijing May 1989 硬质合金上化学气相沉积 TiC和TiCxNy的研究 缪惠芳曹志荣梁强 (需冶教研宜) 摘要：在TiC1-C,H,CH,-Hz和TiCl-C,Hs-H2-N2体系中，以YG,硬 质合金为基体，用化学气相沉积(CVD)法，研究了温度、反应物输人浓度对远积TC和 TiCxNy涂层的沉积速度、显微硬度和形貌的形响。结果表明：TiC沉积速度、显微硬度 随沉积温度升高而增火，对TiC沉积层的形貌也有较人的影响。TiC和TiCxNy的沉积速 度、显微硬度随反应物摩尔比(m。1T1)增加到某一最大值后又下降：■e1T1=1时，TC 硬度呈最佳值。me1T1=0,87时，TiCxNy硬度出现最大值。此外，还对基体一涂层间是 否出现？相进行了分折。并测定了在1223~1323K间TiC沉积反应的表观活化能为157,9 k J/mol. 关键词：化学气相沉积，碳化出，沉阳速度，显微硬度 Chemical Vapour Deposition of TiC and TiCxNy on the Cemented Carbide Miao Huefang Cao Zhirong Liang Qiang ABSTRACT:The deposilion ratd and microhardness of the coating of Tic and TiCxNy increase with input molar ratio (mcr.)and the maximum microhardness of Tic and TiCxNy are achieved as the ratio is 1 and 0.87 respectively.The coalings identified by X-ray diffractomeler is Tic and TiCxNy.When mc=0.94~1.47.deposition lemperature at 1 223~1 323 K. the n phase al inlerlayer belween the substrale and Tic coating is not formed; m=0.68~1.54.at 1 248K.N2/H2 =1.2.the coating only is TiCxNy: mcT:0.28.the n phase is formed.The apparent activation energy of TiC is 1988-01一03收稿 258第 卷第 期 日 年 月 北 京 科 技 大 学 学 报 、 尸 硬质合金上化学气相沉积 和 、 的研究 缪惠芳 有志荣 梁 强 稀 冶教研室 碑 摘 要 在 一 一 和 一 ‘ 一 一 体 系 中 ， 以 硬 质合 金为 堪休 ， 用 化学 气相沉 积 祛 ， 研 究 了温 度 、 反 应 物 轴 入 浓 度对 沉 积 和 二 涂 层的沉 积速度 、 显微 硬 度 和形 貌的影 响 。 结 果表明 沉 积 速度 、 显微硬 度 随 沉 积温 度 升 高而增大 ， 对 沉 积 层的形 貌 也 有较 大 的影 响 。 和 的沉 积速 度 、 显微硬度随 反应 物 摩尔 比 二 。 ， 增 加到某 一 最大值后又 下 降 ， 。 ， 时 ， 硬 度 呈最佳值 。 二 。 ， 。 时 ， 硬 度 出现 最大值 。 此 外 ， 还 对 基 体一 涂层间是 否出 现 ， 相进 行 分 析 。 井测 定 了 在 间 沉 积反 应 的表观 活 七能 为 关健 词 化 学 气 扣沉 积 ， 碳 化钦 沉 积速 度 ， 显微硬 度 ， ， 。 月 。 。 ， 〔 。 ， ， ， ， 一 、 沉 。 ， ‘ ‘ ，，， ， · 、 〔 、 一 手二 少 一 一 。 二 一 ， ， 一 一 一 。 珍 手 、 ， 。 、 ， 。 〔 ， ‘ · 一 · 峨 ‘ ， ‘ ， ， ， 。 。 毛 · ， ， · 卜 、以 ， 一 一 收 稿 DOI ：10．13374／j ．issn1001－053x．1989．03．026