电子束与固体样品作用时产生的信号 3.背射电子 弹性背射电子：与原子核作用，散射角大于90，无 能量损失. 非弹性背射电子：与核外电子作用，方向能量均改 变，散射角大于90° SEM利用背射电子反映试样表面形貌、微区成 分分布. 4.二次电子 入射电子与原子核外电子碰撞，将核外层电子激 发脱离原子核，成为自由电子.（二次电子） 由于其能量小.只能自表面逸出，所以SEM利用其 作形貌分析电子束与固体样品作用时产生的信号 3.背射电子 弹性背射电子:与原子核作用,散射角大于900 ,无 能量损失. 非弹性背射电子:与核外电子作用,方向能量均改 变,散射角大于900 . SEM利用背射电子反映试样表面形貌、微区成 分分布. 4.二次电子 入射电子与原子核外电子碰撞,将核外层电子激 发脱离原子核,成为自由电子.(二次电子). 由于其能量小.只能自表面逸出,所以SEM利用其 作形貌分析