电子束与固体样品作用时产生的信号 1.吸收电子 入射电子进入样品，经多次弹性（非）散射，能量损 失殆尽，被样品吸收的电子 因i妇=io一(+is),吸收电子也可作SEM的测试 信号 2.透射电子 试样厚度小于入射电子的穿透厚度，从试样背面 射出；如试样厚度小于20nm,主要是弹性透射，成 像清晰，试样厚，出现非弹性透射电子，成像差.透 射电子是透射电镜的物理信号电子束与固体样品作用时产生的信号 1.吸收电子 入射电子进入样品,经多次弹性(非)散射,能量损 失殆尽,被样品吸收的电子 因ia=i0－(ib+is ) ，吸收电子也可作SEM的测试 信号 2.透射电子 试样厚度小于入射电子的穿透厚度,从试样背面 射出;如试样厚度小于20nm,主要是弹性透射,成 像清晰,试样厚,出现非弹性透射电子,成像差.透 射电子是透射电镜的物理信号