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表1 常 数 项 月 Tic TiN 硬度Hvo.:(kg/mm) 3200-4100 1700-2400 -AH2o8x (k Cal/mol) 43.9 80.4 熔点 (℃) 3160 2950 热膨胀系数(10-8/℃) 7.42 9.35 导热度 (Cal/cm.S.℃) 0.05 0.07 比电阻 (μcm) 68 25 密度 (g/cm3) 4.93 5.21 晶体结构 面心立方 面心立方 晶格常数 (A) 4.33 4.23 到破坏,因而影响涂层效果。 本研究的目的,在于选择兼颜TiC与TiN优点的涂层,以及选择可达到预定性能,而又 不破坏涂层的淬火制度。 实验原理 1.众所周知TiC或TN通常是通过下列气相反应分别涂复到热工件表面i上去的。 TiC,+2H:+号N,100-1200℃TN+4HC1 TiC/,+CH.+(H2)1000-1200C TiC+4HC/+(H2) 鉴于TiC与TiN晶格常数相近,因而可以互溶,如果使上列两个反应同时在一反应室内进 行,就可以得到碳、氮化钛〔分子式写为Ti(C,N)或Ti(C:-xNx)而不是Tiz(CN)),这 就是高温的涂复方法,经高温涂复的样品,涂层与基体结合较好,涂层硬度也较高(低于 TiC而高于TiN的硬度)。 表2 Ti(C,N)的颜色与Ti(C,N)中TiN与TiC相对含量关系I) 颜 色 黄 棕黄 金青铜色 红紫 紫 兰紫 灰兰 银灰带兰 TiN(重量%) 100 95 90 85 80 70 60 50 TiC(重量%) 0 5 10 15 20 30 40 50 如果选用有机胺类如二甲胺或三甲胺做原料,沉积温度可降至650℃【21,它们的反应 为: 164、 硬 度 。 一 △ 。 熔点 热 膨 胀 系数 导热度 比 电阻 密度 晶体 结构 晶格 常数 一 “ ℃ ℃ 林 一 一 面 心立方 面心立 方 人 到破坏 , 因而 影响涂层 效果 。 本研究 的 目的 , 在于选 择兼顾 与 优点 的涂层 , 以 及选 择可 达 到预定性 能 , 而又 不 破 坏 涂层 的 淬 火制 度 。 实 验 原 理 众 所周 知 或 通 常是通 过 下 列 气相反 应 分 另 涂 复到热 工件 表而 上去 的 。 ‘ ‘ 之 奇 砂 一 ‘ 。 。 ℃ 、 , 一 ℃ 鉴于 与 晶 格常数相近 , 因而可 以 互 溶 , 如果 使 上列 两 个反 应 同时 在一反 应 室 内进 行 , 就 可 以得到碳 、 氮化钦 〔分子 式 写为 , 或 一 而不 是 〕 , 这 就 是高温 的涂复方 法 , 经高温 涂复 的样 品 , 涂 层 与基 体结合 较 好 , 涂 层硬 度 也较 高 低 于 而高于 的硬 度 。 表 , 的 须 色与 , 中 与 相 对 含量关系 ‘ 颜 色 黄 棕 黄 落警稿蔺 红 , 紫 兰紫 灰 兰 银 灰带 兰 勺叹 八 重 量 弓人 甘﹄ ﹃ ﹄一尸 曰 八甘一 丹了八︸ 任内 日甘﹄︸ 重 量 如果选 用 有机胺类如二 甲胺 或 三 甲胺做 原料 , 沉积温 度可降至 ℃ 〔 ‘ , 它 们 的反应 为
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