TiCl.+(CH,).NH+-2-H.-TiN+2CH.C/+2HCl TiCl+CH,CI+H2=TiC+5HCI TiCl,+(CH:),N+2-H:=TiN+3CH,Cl+HCI TiC/,+CH,CI+H:=TiC+5HCI 但我们的实验衣明，低温得到的涂层的硬度及其与基体的结合力都不如高温涂层，且我们所 选用的C::漠具钢沉积之后仍需宜新淬火，所以仍选择高温法。但为使沉积与淬火工序在 炉内先后-道完成，仍需适当降低温度，如可在反应室中加入少量活泼金属（如Z、Mg、 AI、Ca、Hg、Na、K等)做还原剂，使TiCl,先变TiCl,便可适当降低沉积温度，其中 海缩钛比其它金属较为适宜1，因为经过 Ti+3TiCI~650C 4TiCl 这样的反应，只产生TC1,等，而不产生其它金属卤化物，所得的涂层不会因其它不必要的 物质进入所带来的复杂化。 气相沉积TiC时，需用含碳原子不多的碳氢化合物如CH、C,H。、C。H,CHa、 C。H。或CC1,作碳原，目前CH、C,Hs等原料供应困难，而C。H。或C。H,CH。多系以 3。~5%的加入TiCl,中，混合后进行使用，这又给沉！操作带来很多不便。我们选用 C。H。i〈氯代长)作y碳源，并用净化后的氢气经另一管将C。H。Cl载入炉内。工件在升 温、活花过中（活化就是用H:除去工件表面的化膜）会造成表面的脱碳，则C。H。C1还 可以作为广件衣面：沉积反应前欧的碳原，复碳时气中的C原子：H原子=1100左古， 使‘气氛谈势与.工件表面碳含量大体达到平衡，这样处理半小时左右就可达到复碳目的，然 h1时时用H:载入C。H,Cl及用H:N:=31的载'(，从另…管道载入TiCl,,便可进行 狱、氨化欲的'（相沉积。选择C。H6CI作碳源的理山有二：-一是在相同温度下，C。HC1较 (H4的稳定性相差很多，而与CCl。、CHg、C。H。、C。H,CH:相差不多，所以选择 (。H。Cl有利降低沉积温度，同时，C,HCl在低于0℃时的藤气压不高也不低，便于控 制使用，有利于较准确的掌握沉积参数。 我3 儿种有机化合物在1000K时的dG值(KCal/moI) 化合物 CH. C;Ha CCI C。Ha C。H.CHa C。HsCl △G°1000k 4.58 45.71 8.63 62.27 75.91 53.83 具有TiC或TN涂层的样品，淬火中需要加以保护，使用的方法有：包装箱法（就是将 待淬火工件与一小块金属钠一同放入铁盒，并于密封后进行加热淬火【】与盐浴法，这两种 方法都需将工件重新加热，此外，还有在中性气体保护下淬火的7」。我们研制的模具为阴 阳模，模的间隙在沉积前只有40微米，为解决淬火过程工件的变形与开裂，便采用沉积反应 完毕后，将工件移至反应室的有冷却水套的冷瑞，并用大量的净化气(N,+H,)冷却，实 践证明采用这种淬火办法，保证了涂层质量、基体硬度，对减少工件的变形与开裂也有好的 效果，从而使得实验工作得以顺利进行。 165， ‘ ， 。 一 李 ，、 ， 乙 一 二 、 。 ， 参 二 ， ， ‘ 。 但 我 们 的实验 丧明 ， 低 温得到 的涂层 的硬度及 其与基 体 的 结合力都不 如 高温 涂层 ， 且 我们所 选 用 的 澳具钢沉 积 之 后 仍需 重新 淬火， 所 以 仍选 择 高温 法 。 但 为使 沉积 与淬火工序 在 炉 内先后一 道 完 成 ， 仍需适 当降低温 度 ， 如可 在反应 室 中加入 少量 活 泼 金属 如 、 、 、 、 、 、 、 等 做还原 齐 ， 使 ‘ 先 变 。 便可适 当降低 沉积 温 度 ， 其 中 海 绵 钦比 其 它 余属 较 为适 宜 ， 因为经 过 这 洋的反 应 ， 只 己 生 。 等 ， 物 质 进 入 所 带 来 的复 杂 化 。 ℃ 而不 产 生其它金属 卤化物 ， 所得 的涂层 不 会 因其它不必 要 的 气相 沉积 时 ， 需用 含碳 原子不 多 的碳 氢 化合物如 ‘ 、 。 、 。 、 。 。 或 、 作碳原 ， 目前 ‘ 、 。 。 等原料供应 困 难 ， 而 或 。 。 多系 以 的 洲 加 入 。 中 ， 混 合后进 行使 用 ， 这 又 给 沉 积 操作带 来很多不 便 。 我 们选 用 。 。 氯 代苯 作 公碳源 ， 并 用 净 化后 的 氢气经 另一 管将 。 。 载入 炉 内 。 工 件在 升 温 、 活 幼立 协 “ 活化 扰是 用 杂去工 件表 面 的 议化膜 会造成 表 面 的脱碳 ， 则 。 。 还 可 以 作为 门 ’ 表面 仕 沉 积反 应 前复 碳 的碳 原 ， 复碳 时 乙 氛 中 的 原子 原子 左 右 ， 使 ’ 斌 · 炭介 与 一上 件表 叮碳 含量大 体达到 一 平衡 ， 这 羊处 理 半小 时左 右 就 一 可达到 义碳 目 均 ， 然 同 ”妇月 载入 。 。 及用 执 的 载 ’ 丈 ， 从 另一 管 道 载入 ‘ ， 便可 进 行 破 、 氮 ‘ 匕汰的 ’ 相 沉积 。 选择 。 。 作碳 源 的理 自有二 一 是 庄相 问温 度 下 ， 。 较 〔 一均隐定性 相差 很 多 ， 而 与 ‘ 、 。 。 、 。 。 、 。 。 相 差 不多 ， 所 以选 择 。 。 有利 午 低 沉积温 度 ， 同时 ， 。 。 在低 于 如 ℃ 时 的 蒸气 压不 高也不低 ， 便于 控 制 使用 ， 有利于 较 准 确的掌握 沉积 参数 。 农 种 有机 化合物 在 ” 时 的 △ 值 赢下函三斗 一 「 一 坐 一 一 竺 一 巨叫 石石石 △ “ ‘ 。 ， ， 七 · · · “ “ · “ · ” ‘ ” · 具 有 或 涂层 的样 品 ， 淬火中需要加 以 保护 ， 使用 的方法有 包装箱法 就 是将 待 淬 火工件与一 小块 金属 钠 一 同放入 铁盒 ， 并于 密封后进 行加热 淬火 与盐 浴 法 ， 这 两种 方 法 都需将工件重 新加 热 ， 此外 ， 还有在中性气体保 护 下 淬火 的 ， 。 我们研 制 的模具为阴 阳模 ， 模 的 间隙在沉积前只 有 微米 ， 为解决淬火过 程 工件 的 孪形 与开裂 ， 便 采用沉积反应 完毕后 ， 将工件移 至反应 室 的有冷却水 套的冷端 ， 并用大量 的净化气 冷却 ， 实 践证明采用这种 淬火办法 ， 保证 了涂层质量 、 基 体硬 度 ， 对 减少工件的变形 与开裂 也有好 的 效采 ， 从而 使得实验 工作得 以顺利进行 。 工母挤