10 10 C.Ha 1 10 G0000 -1 10-14 3 10- -1000100200300460- TK) 图2几种反应中TiN,TiC生成自由能与温度关系1 图1C。H。Cl,C。H。的 燕气压与温度关系5] (1)TiC+N,+2HTiN+4HC (②)TiC,+名N,+1.5H:=TiN+3HC, 实验条件 1.气体净化处理： (3 TiCl,+-gC.HC/+-B-H-TiC+HCL 高纯H:中含H,O很 少，<10ppm,但含氧量 (0TiC,+日C,H,C1+8H:=TiC+2百HC, 很高，>100ppm,高纯 (5)TiC+CH,=TiC+4HCI Nz中的水有的高达50ppm 而含氧量也在30Ppm左右， 它们都需加以净化方可作气相沉积用的气体，它们经过硅胶一5A分子筛一105催化剂一5A 分子筛联合净化器净化后，用D一3型微量氧分析仪及US一1型微量水分析仪测定H,O的含 量约在1ppm,O2的含量约有3ppn1。 2.试验用的炉子为内径30mm,长750mm的不锈钢管，用卧式SiC电阻炉加热。模 具沉积炉系内径70mm,长1000mm的不锈钢管，电阻丝炉加热，两者均在常压下进行沉积 与其它处理的。 3.为了选择合理的沉积工艺，采用了四因素三水平的正交试验，具体条件表4： 正交试验结果发现温度在940℃或980℃，C,H。C1蒸发温度在40℃，TiCl,蒸发温度在 35℃，沉积时间在2小时左右，对涂层硬度与层深都较为合理。正交试验结果又用方差分析 处理，发现升高沉积温度，延长沉积时间，提高TiCl,与C。HsCl蒸发温度都是合理的，于 166毫米乘往 端矛 ‘ ， 】 了 咬 图 几 种反应 中 ， 生成 自由能与温 度关 系 ， 图 。 。 ， 。 的 蒸 气压 与温 度关 系 ‘ 一 一 ， ’ 多 实 脸 条 件 气体净 化处理 高纯 中含 很 少 ， ， 但 含 氧 量 很 高 ， ， 高纯 巾的水 有的 高达 而 含氧量 也在 左右 ， 一 ， 七 ， 七 一 一 丁 “ ’ 七 一 月 七 一 · 、 ‘ 令 。 ‘ 瞥 一 一 普 ‘ ‘ ’ 它们 都需加 以 净化方可作气相沉积 用 的气体 ， 它们经过 硅 胶一 分子筛一 催化剂一 分子筛联 合净化器净化后 ， 用 一 型 微量氧分析仪 及 一 型微 量水分析仪 测定 的含 量 约 在 ， 的 含量约有 。 试验 用 的 炉子 为 内径 ， 长 了 的不 锈钢 管 ， 用 卧式 电阻炉加热 。 模 具沉 积 炉系 内径 ， 长 的 不锈 钢 管 ， 电阻丝 炉加 热 ， 两者 均 在常压下进 行沉 积 与其 它处理 的 。 为 了选择 合理 的沉积 工艺 ， 采 用 了四 因素三水 平的正 交试验 ， 具体 条件表 正 交 试验 结果发现温度在 ℃或 ℃ ， 。 。 蒸发温度在 ℃ ， 。 蒸发温度 在 ℃ ， 沉 积 时 间在 小 时左右 ， 对 涂层硕 度 与层 深都 较 为合理 。 正 交试验 结果 又 用 方差 分析 处理 ， 发 现 升高沉积温度 ， 延 长 沉积 时 间 ， 提高 与 。 。 蒸发 温 度都 是合 理 的 ， 于