表4 水因素 A B C D 必 C,H。Cl TiCl 序号 沉积温度℃ 蒸发温度℃ 蒸发温度℃ 时间（小时） 900 20 35 % 2 940 32 43 25 马 980 40 50 3 是选用980℃沉积，C,H。Cl蒸发温度为40℃，TiCl,蒸发温度为45℃，载C。HsCl的H,流 量260毫升/分，载TiCl,的(N2:H2=1:3)740毫升/分)，Ti(C,N)沉积2.5小时， TiN沉积半小时。 C,H,C1+N:+T,C1,沉积下()切新 KC.H.C 1单独沉别 TiN 120120 体下 分钟分钟 2.5小时 半小时 回火 180D2小时 一出护 处理工艺制度 38 155 2201u 1.H:气. 8心S501复级使湛哥1.集必* 2.:气叛 9.TC1:荒发款 16.生气流电 17。样品 《,对胶敌 11.6得锅丝网 12。品 9,事0"： 5,5A子 5,105雅伦剂}月. 30.炉焦 21.路认 7,s1(1发款 图3试验装置示意图 性能与寿命 样品表面硬度一般都超过Hv。o。=2000kg/mm2,大都在Hv。.o6=2400kg/mm2,少 数在Hv。.os=3000-3100kg/mm2,模具淬火后表面硬度Hv。.05=2400-2900kg/mm2 167表 斌 因素 平 序 号 沉 积温 度 ℃ 。 ‘ 蒸发温 度 ℃ 蒸发温 度 ℃ 时 小 时 自内任才 目八“， 匀任种 勺一八 是 选 用 ℃ 沉 积 ， 。 。 蒸发温 度为 ℃ ， 蒸发温 度为峨 ℃ ， 载 。 。 的 流 量 毫 升 分 ， 载 的 毫 升 分 ， ， 沉 积 小 时 ， 沉积 半 小 时 。 · 卜，‘ ，· 、 · ， ’ ，·沉积 一下“ 一 、 ’ 切 断 矛 七、 于。 单独沉积 ， “ 吐 半小时 处 理 工 艺 制度 丽团一州烤 鑫筵〕 。 气哭舰 入 气瓶 召 万 子 主泣 。 硅 胶 铃胶 今 子 沛 越级 蔑 发 三 垅 俐丝 生泛温 器 ‘ 书长 ，钻冲 ﹃海钢电炉样 丈屯 … 白，，‘ ”月白︺﹃︸了 网机闪 汤不介玻样几 以比川 。 催 化 荆 ‘ 、 】 甲 弓甲 廿 水淤 气洗 电 、 凡 品 架 王 喊 管 万 ， 护 了‘ 生韦认 图 试验装置 示 意图 性 能 与 寿 命 样 品 表 面 硬 度一 般都超过 。 。 。 “ ， 大都 在 。 。 。 ， 少 数在 。 。 。 二 一 ， 模 具淬火后 表面 硬 度 。 。 。 二 一 忍