6.1.2精溶加无和超精签加工的持点 1.加工方法 目前精密和超精密加工方法根据加工机理可分为四大类: 切削加工:精密切削、微量切削和超精密切削等: 磨削加工:精密磨削、微量磨削和超精密磨削等 特种加工:电火花加工、电解加工、激光加工、电子束加工、离子束加工等 复合加工:将几种加工方法复合在一起,如机械化学研磨、超声磨削、电解抛光 在精密和超精密加工中特种加工和复合加工方法应用得越来越多 2.加工原则 般加工时,机床的精度总是髙于这被加工零件的精度,这一规律被称为“蜕化 原则。而对于精密加工和超精密加工时,有时可利用低于工件精度的设备、工具, 逕辩方法素挖艺装备,加工出精度商于“母机”的工作母机或工件 ·3.加工设备 加工设备的几何精度向亚微米级靠近。关键元件,如主轴、导轨、丝杆等广泛采 用液体静压或空气静压元件。 定位机构中采用电致伸缩、磁致伸缩等微位移结构 设备广泛采用计算机控制、适应控制、在线检测与误差补偿等技术6.1.2 精密加工和超精密加工的特点 • 1. 加工方法 • 目前精密和超精密加工方法根据加工机理可分为四大类： • 切削加工：精密切削、微量切削和超精密切削等； • 磨削加工：精密磨削、微量磨削和超精密磨削等； • 特种加工：电火花加工、电解加工、激光加工、电子束加工、离子束加工等； • 复合加工：将几种加工方法复合在一起，如机械化学研磨、超声磨削、电解抛光 等。 • 在精密和超精密加工中特种加工和复合加工方法应用得越来越多。 • 2. 加工原则 • 一般加工时，机床的精度总是高于这被加工零件的精度，这一规律被称为“蜕化” 原则。而对于精密加工和超精密加工时，有时可利用低于工件精度的设备、工具， 通过工艺手段和特殊的工艺装备，加工出精度高于“母机”的工作母机或工件。 这种方法称为进化加工。 • 3. 加工设备 • 加工设备的几何精度向亚微米级靠近。关键元件，如主轴、导轨、丝杆等广泛采 用液体静压或空气静压元件。 • 定位机构中采用电致伸缩、磁致伸缩等微位移结构。 • 设备广泛采用计算机控制、适应控制、在线检测与误差补偿等技术