6.2.2高子注入相关理论基础 (LSS理论) LSS理论—对在非晶靶中注入离子的射程分布的研究 1963年, Lindhard, Scharff and schio首先确 立了注入离子在靶内分布理论,简称LSS理论 该理论认为,注入离子在靶内的能量损失分为两 个彼此独立的过程 (1)核碰撞( nuclear stopping) (2)电子碰撞( electronic stopping) 阻止本领( stopping power):材料中注入离子 的能量损失大小。LSS理论——对在非晶靶中注入离子的射程分布的研究 v 1963年，Lindhard, Scharff and Schiott首先确 立了注入离子在靶内分布理论，简称 LSS理论。 v 该理论认为，注入离子在靶内的能量损失分为两 个彼此独立的过程 (1) 核碰撞（nuclear stopping） (2) 电子碰撞 （electronic stopping） v 阻止本领（stopping power）：材料中注入离子 的能量损失大小。 6.2.2 离子注入相关理论基础 （LSS理论）