离子浓度(对数坐标) 真空 RI n(Rp)h--- 高斯分布 0.6n(RP) R 离子束 Rp 离子束 (a)离子注入射程R及投影射程R示意图 (b)注入离子的二维分布 △Rn;标准偏差( Straggling),任何一个注入离子在靶内所受到的碰撞 是一个随机过程。相同质量且相同初始能量的离子有一空间分布,投影射程的统计 涨落称为投影偏差(标准偏差),即投影射程的平均偏差 △R1:横向标准偏差( Traverse straggling),垂直于入射方向 平面上的标准偏差。Rp：标准偏差（Straggling），任何一个注入离子在靶内所受到的碰撞 是一个随机过程。相同质量且相同初始能量的离子有一空间分布，投影射程的统计 涨落称为投影偏差（标准偏差）,即投影射程的平均偏差 R：横向标准偏差（Traverse straggling）, 垂直于入射方向 平面上的标准偏差