6.2离子注入原理 621与注入离子分布相关的几个概念 R:射程( range)离子在靶内的总路 线长度 入射离子 Xn:投影射程( projected range)R在 入射方向上的投影 (a)低能离子 射程分布: 平均投影射程Rn 入射离子 标准偏差△R 横向标准偏差△R1 (b)高能离子R：射程（range） 离子在靶内的总路 线长度 Xp：投影射程（projected range） R在 入射方向上的投影 射程分布： 平均投影射程Rp， 标准偏差Rp， 横向标准偏差R 6.2离子注入原理 6.2.1与注入离子分布相关的几个概念