844氦质谱仪检漏法 ◆工作原理:当有质量不同的原子在仪器电离 室中电离成各带电荷的正离子,当离子在加 速区受到静电场的加速,获得一定的动能后 进入磁场,受磁场作用作圆周运动,不同的 离子具有不同的偏转半径,只有偏转半径与 质谱仪的几何半径相同的离子才能穿过出口 狭缝到达收集极形成离子流。当用氦作示漏 气体时,调整电场强度使氦离子流正好到达 收集极,则在检漏时,被检漏系统在若有泄 漏,则会有氦原子扩散至氦质谱检漏仪中, 仪表中会有读数反映出系统有漏孔。Š 工作原理：当有质量不同的原子在仪器电离 室中电离成各带电荷的正离子，当离子在加 速区受到静电场的加速，获得一定的动能后 进入磁场，受磁场作用作圆周运动，不同的 离子具有不同的偏转半径，只有偏转半径与 质谱仪的几何半径相同的离子才能穿过出口 狭缝到达收集极形成离子流。当用氦作示漏 气体时，调整电场强度使氦离子流正好到达 收集极，则在检漏时，被检漏系统在若有泄 漏，则会有氦原子扩散至氦质谱检漏仪中， 仪表中会有读数反映出系统有漏孔。 8.4.4 氦质谱仪检漏法