8.44氦质谱仪检漏法 X×X X X XX ◆2工作原理 氦作为示漏气体的专门用于检漏的质谱分析仪器,以检测到的 示漏气体氦的多少来进行检漏。 N:质谱室阴极,把来自检漏系统的气体分子电离成离子 S:磁偏转气体入口,离子加速极,加速电压V(入口) H:均匀磁场,使被加速的离子按圆形轨迹运动 S2:磁偏转气体出口 K:离子接收靶,收集离子 偏转半径 144 R MV H ◆当H与V一定时,偏转半径R与离子的质荷比M(m/e)有关。 对于用氦气作示漏气体检漏时,固定H和R值,调节ⅴ值使氦离 子正好通过狭缝S2。Š 2 工作原理 氦作为示漏气体的专门用于检漏的质谱分析仪器，以检测到的 示漏气体—氦的多少来进行检漏。 – N：质谱室阴极，把来自检漏系统的气体分子电离成离子 – S1：磁偏转气体入口，离子加速极，加速电压V （入口） – H：均匀磁场，使被加速的离子按圆形轨迹运动 – S2：磁偏转气体出口 – K：离子接收靶，收集离子 Š 偏转半径： Š 当H与V一定时，偏转半径R与离子的质荷比M(m/e)有关。 Š 对于用氦气作示漏气体检漏时，固定H和R值，调节V值使氦离 子正好通过狭缝S2。 8.4.4 氦质谱仪检漏法 MV H R 144 =