5.1.2SEM构造 1.电子光学系统 聚光镜系统：由三个聚光镜组成，其作用获得大束流强度 和尽可能小的束斑直径。 扫描系统：以扫描线圈为核心组成的扫描系统，其作用是 提供入射电子束在样品表面上以及阴极射线管电子束在荧 屏上的同步扫描信号；改变入射电子束在样品表面扫描振 幅，以获得所需放大倍率的扫描像。 样品室：样品室中主要部件之一是样品台。它除了能进行 三维空间的移动，还能倾斜和转动，样品台移动范围一般 可达40mm,倾动范围至少±50°左右，转动360°。样品 台还可带有多种附件，例如使样品在样品台上加热、冷却， 或拉伸等，可进行动态观察 。5.1.2 SEM构造 1．电子光学系统 聚光镜系统：由三个聚光镜组成，其作用获得大束流强度 和尽可能小的束斑直径。 扫描系统：以扫描线圈为核心组成的扫描系统，其作用是 提供入射电子束在样品表面上以及阴极射线管电子束在荧 屏上的同步扫描信号；改变入射电子束在样品表面扫描振 幅，以获得所需放大倍率的扫描像。 样品室：样品室中主要部件之一是样品台。它除了能进行 三维空间的移动，还能倾斜和转动，样品台移动范围一般 可达40mm，倾动范围至少±50º左右，转动360º。样品 台还可带有多种附件，例如使样品在样品台上加热、冷却， 或拉伸等，可进行动态观察