5.1.2SEM构造 2.信号检测放大系统 其作用是检测样品在入射 电子作用下产生的物理信 阳极 光阴极 二次电子入射电子束 号，然后经视频放大，作 为显像系统的调制信号。 烁体 铝膜 不同的物理信号，要用不 背散射电子 同类型的检测系统。 800≈1000V 1000 法拉第罩 它大致可分为三类，即电 子检测器，阴极荧光检测 电子检测器 器（主要用于生物)和X射 线检测器(EDS,WDS)。5.1.2 SEM构造 2．信号检测放大系统 其作用是检测样品在入射 电子作用下产生的物理信 号，然后经视频放大，作 为显像系统的调制信号。 不同的物理信号，要用不 同类型的检测系统。 它大致可分为三类，即电 子检测器，阴极荧光检测 器（主要用于生物）和X射 线检测器（EDS，WDS）。 电子检测 器