电子检测器工作原理 在扫描电子显微镜中最普遍使用的电子检测器是由闪烁体， 光导管和光电倍增器所组成，如图5-3所示。闪烁体多由 含磷光物质的闪烁塑料制成。由于闪烁体只对能量为数千 电子伏特的电子敏感，为了能探测能量小于50eV的二次 电子，必须在闪烁体上加上约10kV的正高压来加速电子。 因塑料闪烁不导电，故在其上面喷镀几十纳米厚的铝膜作 为高压电极，又可作为反光层阻挡杂散光的干扰。闪烁体 上的正高压会使入射束位移或引起像散，为此其外套着 个有栅网的法拉第罩，其电位接近零电压.在法拉第罩栅 网上接+200V左右的正偏压（相对样品）可以进一步有效 地吸收二次电子。若要排斥二次电子，则在法拉第罩上加 50V负偏压。法拉第罩栅网上施加这样低的正负偏压不会 给入射电子束带来明显的不利影响。电子检测 器工作原理 在扫描电子显微镜中最普遍使用的电子检测器是由闪烁体， 光导管和光电倍增器所组成，如图5-3所示。闪烁体多由 含磷光物质的闪烁塑料制成。由于闪烁体只对能量为数千 电子伏特的电子敏感，为了能探测能量小于50eV的二次 电子，必须在闪烁体上加上约10kV的正高压来加速电子。 因塑料闪烁不导电，故在其上面喷镀几十纳米厚的铝膜作 为高压电极，又可作为反光层阻挡杂散光的干扰。闪烁体 上的正高压会使入射束位移或引起像散，为此其外套着一 个有栅网的法拉第罩，其电位接近零电压．在法拉第罩栅 网上接+200V左右的正偏压（相对样品）可以进一步有效 地吸收二次电子。若要排斥二次电子，则在法拉第罩上加 50V负偏压。法拉第罩栅网上施加这样低的正负偏压不会 给入射电子束带来明显的不利影响