闭环传感器 闭环传感器具有高精度、高灵敏度、稳定可靠 等特点，当然其结构比较复杂，工艺要求高，成本 昂贵，体积较大。航天、航空或航海中使用的超低 频、低g加速度计，测量气体或液体压力的力平衡 式压力（或差压)传感器，高精度称重用的力平衡 式电子天平等是其典型的应用实例。 由于材料与元器件制造工艺的发展和完善，集 成电路技术应用的不断扩大，近年来出现了一些新 的平衡式传感器。如力平衡式石英摆加速度计、电 荷平衡式电容测微仪和力平衡式硅微型加速度计 (见11.8节)等。随着闭环传感器体积与重量的减 小，成本的不断下降，其应用将日益广泛。 闭环传感器具有高精度、高灵敏度、稳定可靠 等特点，当然其结构比较复杂，工艺要求高，成本 昂贵，体积较大。航天、航空或航海中使用的超低 频、低g加速度计，测量气体或液体压力的力平衡 式压力（或差压）传感器，高精度称重用的力平衡 式电子天平等是其典型的应用实例。 由于材料与元器件制造工艺的发展和完善，集 成电路技术应用的不断扩大，近年来出现了一些新 的平衡式传感器。如力平衡式石英摆加速度计、电 荷平衡式电容测微仪和力平衡式硅微型加速度计 （见11.8节）等。随着闭环传感器体积与重量的减 小，成本的不断下降，其应用将日益广泛。 闭环传感器