闭环传感器 第一节作原理及特点 图2所示为力平衡式闭环传感器的组成。所采 用的敏感元件、传感器和反向传感器随应用不同而 异。例如，常采用挠性杆、石英摆片或液浮摆作为 加速度敏感元件，用膜片、膜盒作为压力敏感元件。 对它们的要求是灵敏度高、性能稳定。传感器常用 的为电容式、电感式、电涡流式以及电位计式和应 变式等。反向传感器则为磁电式、静电式和压电式 等具有双向特性的传感器。伺服放大回路的方案可 分为模拟电路和脉冲电路两大类。模拟电路以随误 差信号连续变化的模拟电流为反馈量；脉冲电路则 以幅值稳定、宽度或脉冲数随误差信号变化的脉冲 电流为反馈量。图2所示为力平衡式闭环传感器的组成。所采 用的敏感元件、传感器和反向传感器随应用不同而 异。例如，常采用挠性杆、石英摆片或液浮摆作为 加速度敏感元件，用膜片、膜盒作为压力敏感元件。 对它们的要求是灵敏度高、性能稳定。传感器常用 的为电容式、电感式、电涡流式以及电位计式和应 变式等。反向传感器则为磁电式、静电式和压电式 等具有双向特性的传感器。伺服放大回路的方案可 分为模拟电路和脉冲电路两大类。模拟电路以随误 差信号连续变化的模拟电流为反馈量；脉冲电路则 以幅值稳定、宽度或脉冲数随误差信号变化的脉冲 电流为反馈量。 第一节 作原理及特点 闭环传感器