观而的取 晶振片知识 广积而愿 我们会常常遇到这样的情况,当镀氟化镁一会儿,沉积速率或膜厚会显示不规则的跳跃,镀 锆或铬时我们也常常会遇到类似的问题。 四探头的设计和常见问题 为了使晶振片在真空室内工作,必须用一种器件来激活振荡真空室内的晶振片,并只使 晶振片一部分被镀膜,而且能使晶振片被方便的更换。另外,这个器件必须屏蔽晶振片,免 受镀膜中高温破坏,这个器件就是探头 现在市场上的探头设计,是将晶振片放入夹具中(一种中间有孔的金属帽)。夹具作为半 个电路使晶振片振动。这个孔可使镀在晶振片上膜层直径约76πm圆形,晶振片用一个弹簧 固定在夹具内,或者弹簧被固定在夹具内四周,压住晶振片的边。另外一种设计,用一个“陶 瓷稳定器( Ceramic retainer)”,和镀金的弹簧在中间,压住晶振片的边 在上述两种设计中,晶振片夹具放入探头中(一个小的金属块),另一个镀金弹簧压住晶 振片或稳定器背面,以形成完整的电路。通常,探头中还有一个弹簧以稳定夹具,使夹具和 探头成通路。探头的外面是拧入式微点式接头( Mircondot connector),一个电缆( Microcoaxial, 内有双线)联结探头和接口( Feedthrough),接口再与振荡器相连,最终联结显示仪。探头有 两个细金属管向晶振片提供冷却水。冷却水管可能与探头内的管道相通或者与探头背面弯管 相通。但最后总是要与接口连接 新的探头,装入晶振片容易,大小合适,电接触好,冷却水正常。然而,反复使用以后, 系统会损坏,不能或不正常显示数据,常见原因如下: 1)夹具内或探头的接触弹簧断了或过分折弯,造成断路。 2)探头中与电缆的连线断了,造成断路。 3)探头与接头间的电缆断裂或松动,造成断路。 4)冷却水内矿物太多,使水流不畅,探头过热 五电极对晶振片质量的影响 晶振片的电极对膜厚监控至关重要,目前,市场上提供三种标准电极材料:金、银和合 金 金是最广泛使用的传统材料,它具有低接触电阻,高化学温定性,易于沉积。金最适合 于低应力材料,如金,银,铜的膜厚控制。用镀金晶振片监控以上产品,即使频率飘移IMHz, 也没有负作用。然而,金电极不易弯曲,会将应力从膜层转移到石英基片上。转移的压力会 使晶振片跳频和严重影响质量和稳定性 银是接近完美的电极材料,有非常低的接触电阻和优良的塑变性。然而,银容易硫化 硫化后的银接触电阻高,降低晶振片上膜层的牢固性 银铝合金晶振片最近推岀一种新型电极材料,适合高应力膜料的镀膜监控,如Sj0,Si02, MgF2,Ti02。这些高应力膜层,由于高张力或堆积的引力,经常会使晶振片有不稳定,高应 力会使基片变形而导致跳频 银铝合金通过塑变或流变分散应力,在张力或应力使基体变形前,银铝电极已经释放了 这些应力。这使银铝合金晶振片具有更长时间,更稳定的振动。实验室的实验表明镀Si2用 第7页,共10页第 7 页，共 10 页 博观而约取 晶振片知识 广积而厚发 我们会常常遇到这样的情况，当镀氟化镁一会儿，沉积速率或膜厚会显示不规则的跳跃，镀 锆或铬时我们也常常会遇到类似的问题。 四﹑探头的设计和常见问题 为了使晶振片在真空室内工作，必须用一种器件来激活振荡真空室内的晶振片，并只使 晶振片一部分被镀膜，而且能使晶振片被方便的更换。 另外，这个器件必须屏蔽晶振片，免 受镀膜中高温破坏，这个器件就是探头。 现在市场上的探头设计，是将晶振片放入夹具中（一种中间有孔的金属帽）。夹具作为半 个电路使晶振片振动。这个孔可使镀在晶振片上膜层直径约 7.6mm 圆形，晶振片用一个弹簧 固定在夹具内，或者弹簧被固定在夹具内四周，压住晶振片的边。另外一种设计，用一个“陶 瓷稳定器（Ceramic retainer）”，和镀金的弹簧在中间，压住晶振片的边。 在上述两种设计中，晶振片夹具放入探头中（一个小的金属块），另一个镀金弹簧压住晶 振片或稳定器背面，以形成完整的电路。通常，探头中还有一个弹簧以稳定夹具，使夹具和 探头成通路。探头的外面是拧入式微点式接头（Mircondot connector），一个电缆（Microcoaxial， 内有双线）联结探头和接口（Feedthrough），接口再与振荡器相连，最终联结显示仪。探头有 两个细金属管向晶振片提供冷却水。冷却水管可能与探头内的管道相通或者与探头背面弯管 相通。但最后总是要与接口连接。 新的探头，装入晶振片容易，大小合适，电接触好，冷却水正常。然而，反复使用以后， 系统会损坏，不能或不正常显示数据，常见原因如下： 1）夹具内或探头的接触弹簧断了或过分折弯，造成断路。 2）探头中与电缆的连线断了，造成断路。 3）探头与接头间的电缆断裂或松动，造成断路。 4）冷却水内矿物太多，使水流不畅，探头过热。 五﹑电极对晶振片质量的影响 晶振片的电极对膜厚监控至关重要，目前，市场上提供三种标准电极材料：金、银和合 金。 金是最广泛使用的传统材料，它具有低接触电阻，高化学温定性，易于沉积。金最适合 于低应力材料，如金，银，铜的膜厚控制。用镀金晶振片监控以上产品，即使频率飘移 1MHz， 也没有负作用。然而，金电极不易弯曲，会将应力从膜层转移到石英基片上。转移的压力会 使晶振片跳频和严重影响质量和稳定性。 银是接近完美的电极材料，有非常低的接触电阻和优良的塑变性。然而，银容易硫化， 硫化后的银接触电阻高，降低晶振片上膜层的牢固性。 银铝合金晶振片最近推出一种新型电极材料，适合高应力膜料的镀膜监控，如Si0，Si02， MgF2，Ti02。这些高应力膜层，由于高张力或堆积的引力，经常会使晶振片有不稳定，高应 力会使基片变形而导致跳频。 银铝合金通过塑变或流变分散应力，在张力或应力使基体变形前，银铝电极已经释放了 这些应力。这使银铝合金晶振片具有更长时间，更稳定的振动。实验室的实验表明镀Si02用