晶振片知识 下而约 积而愿 银铝合金晶振片比镀金寿命长400% 晶振片的电极根据其外观形状分为单锚、双锚全双锚,目前使用较多的为双锚电极晶振 六如何选用最合适的晶振片? 镀膜科技日新月异,对于镀膜工程师来说,如何根据不同的镀膜工艺选择最佳的晶振片 确实不易。下面建议供大家参考: 1)镀低应力膜料时,选择镀金晶振片 最常见的镀膜是镀A、Au、Ag、Cu,这些膜层几乎没有应力,在室温下镀膜即可。膜 层较软,易划伤,但不会裂开或对基底产生负作用。建议使用镀金晶振片用于上述镀膜,经 验证明,可以在镀金晶振片镀60000埃金和50000埃银的厚度 2)使用镀银或银铝合金镀高应力膜层 Ni、Cr、Mo、Zr、NiCr、Ti、不锈钢这些材料容易产生高应力,膜层容易从晶体基片上 剥落或裂开,以致岀现速率的突然跳跃或一系列速率的突然不规则正负变动。有时,这些情 况可以容忍,但在一些情况下,会对蒸发源的功率控制有不良作用 3)使用银铝合金晶振片镀介质光学膜 MgF2、SiO2、AlO3、TiO2膜料由于良妤的光学透明区域或折射率特性,被广泛用于光学 镀膜,但这些膜料也是最难监控的,只有基底温度大于200度时,这些膜层才会与基底有非 常良妤的结合力,所以当这些膜料镀在水冷的基底晶振片上,在膜层凝结过程会产生巨大的 应力,容易使晶振片在1000埃以内就回失效。 这时候,选用合金晶振片将是最妤的选择,将大大减少调频机会。实验室显示,使用合 金晶振片监视氟化镁,有效寿命比镀金的长100%。如果把冷却水的温度从20度提高到50 度,晶振片的寿命更可以再延长一倍 七晶振片的安装及注意事项与技巧 随着镀膜规格指标的需求日益严格,单靠光控已经难以达到要求,晶振控制成为镀膜必 备的辅助或控制方法如何正确有效地使用晶振片成为保证镀膜质量的重点。所以为了使晶振 片寿命最长,下面一些方法和技巧供您参考 1总是用摄子来挟住晶振片的边缘,不要碰晶振片中心,因为晶振片振动的活跃中心, 任何灰层,油污都会降低晶振片的振动能力。新的晶振片使用之前应在酒精(分析纯即可)中 浸泡1分钟左右,之后用塑料镊子夹取并用无尘纸或洁净的绸布将酒精擦拭干净,冋时用蘸 有酒精的无尘纸或绸布将晶振座擦拭千净,组装晶振片之前用吹气球将晶振片、晶振座及探 头的接触弹簧上可能残留的灰尘、纸屑等吹掉.晶振片装好后再一次用吹气球吹晶振片的表 面,去除散落的灰尘。(有人建议用低压过滤的氮气或不含油的空气吹晶振片的表面,去除散 落的灰尘本人认为吹气球即可方便经济又快捷。)切记不要用手指直接接触晶振片以免留下 油渍 第8页,共10页第 8 页，共 10 页 博观而约取 晶振片知识 广积而厚发 银铝合金晶振片比镀金寿命长 400%。 晶振片的电极根据其外观形状分为单锚﹑双锚﹑全双锚，目前使用较多的为双锚电极晶振 片。 六﹑如何选用最合适的晶振片？ 镀膜科技日新月异，对于镀膜工程师来说，如何根据不同的镀膜工艺选择最佳的晶振片 确实不易。下面建议供大家参考： 1）镀低应力膜料时，选择镀金晶振片 最常见的镀膜是镀 Al、Au、Ag、Cu，这些膜层几乎没有应力，在室温下镀膜即可。膜 层较软，易划伤，但不会裂开或对基底产生负作用。建议使用镀金晶振片用于上述镀膜，经 验证明，可以在镀金晶振片镀 60000 埃金和 50000 埃银的厚度。 2）使用镀银或银铝合金镀高应力膜层 Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不锈钢这些材料容易产生高应力，膜层容易从晶体基片上 剥落或裂开，以致出现速率的突然跳跃或一系列速率的突然不规则正负变动。有时，这些情 况可以容忍，但在一些情况下，会对蒸发源的功率控制有不良作用。 3）使用银铝合金晶振片镀介质光学膜 MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2膜料由于良好的光学透明区域或折射率特性，被广泛用于光学 镀膜，但这些膜料也是最难监控的，只有基底温度大于 200 度时，这些膜层才会与基底有非 常良好的结合力，所以当这些膜料镀在水冷的基底晶振片上，在膜层凝结过程会产生巨大的 应力，容易使晶振片在 1000 埃以内就回失效。 这时候，选用合金晶振片将是最好的选择，将大大减少调频机会。实验室显示，使用合 金晶振片监视氟化镁，有效寿命比镀金的长 100%。如果把冷却水的温度从 20 度提高到 50 度，晶振片的寿命更可以再延长一倍。 七﹑晶振片的安装及注意事项与技巧 随着镀膜规格指标的需求日益严格，单靠光控已经难以达到要求，晶振控制成为镀膜必 备的辅助或控制方法﹐如何正确有效地使用晶振片成为保证镀膜质量的重点。所以为了使晶振 片寿命最长，下面一些方法和技巧供您参考： 1.总是用摄子来挟住晶振片的边缘，不要碰晶振片中心，因为晶振片振动的活跃中心， 任何灰层，油污都会降低晶振片的振动能力。新的晶振片使用之前应在酒精(分析纯即可)中 浸泡 1 分钟左右，之后用塑料镊子夹取并用无尘纸或洁净的绸布将酒精擦拭干净，同时用蘸 有酒精的无尘纸或绸布将晶振座擦拭干净，组装晶振片之前用吹气球将晶振片、晶振座及探 头的接触弹簧上可能残留的灰尘、纸屑等吹掉﹐晶振片装好后再一次用吹气球吹晶振片的表 面，去除散落的灰尘。(有人建议用低压过滤的氮气或不含油的空气吹晶振片的表面，去除散 落的灰尘﹐本人认为吹气球即可﹐方便经济又快捷。)切记不要用手指直接接触晶振片以免留下 油渍