晶振片知识 下而约 积而愿 2保持晶振片的清洁。不要让镀膜材料的粉末接触晶振片的前后中心位置。任何晶体和 夹具之间的颗粒或灰层将影响电子接触,而且会产生应力点,从而改变晶体振动的模式 3晶振座经过多次镀膜后其表面会沉积较厚的膜,如果不将其除去,由于离子轰击产生 的反溅射会影响晶振片的测试精度。可以先用喷砂或用打砂纸方法将膜层除去,之后用酒精 浸泡5分钟左右,如果能用超声波振荡凊洗一下,效果会更妤,最后再将其放入110℃烤箱 中烘烤15分钟,即可使用。 4保持足够的冷却水使晶振头温度在20-50度。如果可以将温度误差保持在1-2度范围 ,效果更佳 八晶振片使用维护 晶振片要不要换主要看以下方面 1ACT大小,一般以大于400为标准 2Life大小,分増加与减小情况且与所镀产品有关,使用寿命是否到了,一般的使用寿 命从99%左右用到90-92%就该换了 3 Rate deⅤ大于10%左右就要换,蒸发速率出现明显异常,此时也该换 4表面质量,晶振片的表面眀显岀现膜脱落或起皮的现象也要换。 5晶振片的灵敏度随着质量的增加而降低,这样在使用石英晶体监控法(晶控法)进行 镀膜控制时会导致随着晶振片的Lie降低而岀现镀膜曲线向长波偏移辶现象。原因如以下公 式得之 N·D △d ."Ztan TF-F 丌·D·ZF F △ d Film thickness, In angstroms(1A=10m薄膜厚度单位埃(A Nq Frequency constant for at cut crystal,1.668×10 Hz-Ang[A切割晶体频率常数 1686×103赫兹,埃(H,A Dq: Density of quartz2648gm2[石英密度,2.648gm/cm π: the constant pi,3.14159265[π-常数,3.14159265358979324] De Density of film material in g/cm°[膜材密度,单位gm/cm Z Z-factor of material, is the square root of the ratio[(d q uq)(dr*up)] da and df are the density and ug and uf are the shear moduli of quartz and the film, respectively. These values are available in several materials handbooks。[材料Z系数] 第9页,共10页第 9 页，共 10 页 博观而约取 晶振片知识 广积而厚发 2.保持晶振片的清洁。不要让镀膜材料的粉末接触晶振片的前后中心位置。任何晶体和 夹具之间的颗粒或灰层将影响电子接触，而且会产生应力点，从而改变晶体振动的模式。 3.晶振座经过多次镀膜后其表面会沉积较厚的膜，如果不将其除去，由于离子轰击产生 的反溅射会影响晶振片的测试精度。可以先用喷砂或用打砂纸方法将膜层除去，之后用酒精 浸泡 5 分钟左右，如果能用超声波振荡清洗一下，效果会更好，最后再将其放入 110℃烤箱 中烘烤 15 分钟，即可使用。 4.保持足够的冷却水使晶振头温度在 20-50 度。 如果可以将温度误差保持在 1-2 度范围 内，效果更佳。 八﹑晶振片使用维护 晶振片要不要换主要看以下方面： 1.ACT 大小，一般以大于 400 为标准﹔ 2.Life 大小，分增加与减小情况且与所镀产品有关，使用寿命是否到了，一般的使用寿 命从 99%左右用到 90-92%就该换了； 3.Rate DEV 大于 10%左右就要换，蒸发速率出现明显异常，此时也该换； 4.表面质量，晶振片的表面明显出现膜脱落或起皮的现象也要换。 5.晶振片的灵敏度随着质量的增加而降低，这样在使用石英晶体监控法（晶控法）进行 镀膜控制时会导致随着晶振片的 Life 降低而出现镀膜曲线向长波偏移之现象。原因如以下公 式得之﹕ ( ) ( ) 1 tan tan q q q c f c q N D F F d Z D ZF F π π − ⎡⎤ ⎛ ⎡ − ⎞⎤ Δ = ⎢ ⎥ ⎢ ⎜ ⎟⎥ ⎜ ⎟ ⎢ ⎥ ⎢ ⎥ ⎣⎦ ⎝ ⎣ ⎠⎦ i i i i i ii Δd﹕Film thickness，In angstroms (1 =10 o A -10m)[薄膜厚度,单位埃( )] o A Nq﹕Frequency constant for at cut crystal，1.668×1013Hz-Ang.[At切割晶体频率常数， 1.668×1013赫兹．埃(Hz． )] o A Dq﹕Density of quartz 2.648 g/cm3 [石英密度，2.648gm/cm3 ] π:﹕the constant Pi，3.14159265[π---常数，3.14159265358979324] Df﹕Density of film material in g/cm3 [膜材密度，单位gm/cm3 ] Z﹕Z-factor of material， is the square root of the ratio[(dq * uq)/ (df * uf)] dq and df are the density and uq and uf are the shear moduli of quartz and the film， respectively。These values are available in several materials handbooks。[材料Z系数]