2沉积装置 主要由反应器(室)、供气系统和加热系统等组成 RF线围 基片 ooooo 一排气 OooO 石英管 基座 纯H SiH.I PH, S,HCle 容器 BH, HCL S——阀门M——限流阀A、B、C、D、E、F—流量计 图831Si片PN结构微细加工的cvD装置意示图2. 沉积装置 主要由反应器（室）、供气系统和加热系统等组成 图8.3.1 Si片PN结构微细加工的CVD装置意示图