(3)沉积条件 ①在沉积温度下,反应物有足够高的蒸气压; ②生成物中,除了一种所需要的沉积物为固态外,其余 都必须是气态; ③沉积物本身的蒸气压应足够低,以保证整个沉积反应 过程始终能保持在加热的基体上; ④基体本身的蒸气压在沉积温度下也应足够低,不易（3）沉积条件 ① 在沉积温度下，反应物有足够高的蒸气压； ② 生成物中，除了一种所需要的沉积物为固态外，其余 都必须是气态； ③ 沉积物本身的蒸气压应足够低，以保证整个沉积反应 过程始终能保持在加热的基体上； ④ 基体本身的蒸气压在沉积温度下也应足够低，不易 挥发