(2)化学反应沉积 由两种或两种以上的气体物质在加热的基体表面上发 生化学反应而沉积成固态膜层的技术。 包括了除热分解以外的其它化学反应,例如 SiCl4(气)+2H2气)-10si(固)+4HCl↑ WF6(气)+3H2(气)-500,W(固)+6HF↑ 2AIC3(气)+3CO2气)+3H4气) Al2O3固)+6HC↑+3CO(气)↑ (CH33Ga(气)+AsH3气)哑675℃>GaA(固)+3CH4(气)↑ 3SiH4(气)+4NH3气)>SjN4固)+12H2(气)个（2）化学反应沉积 ——由两种或两种以上的气体物质在加热的基体表面上发 生化学反应而沉积成固态膜层的技术。 包括了除热分解以外的其它化学反应，例如： SiCl4 (气)＋2H2 (气) 1200℃→ Si(固)＋4HCl↑ WF6 (气) ＋3H2 (气) 500～700℃→ W(固)＋6HF↑ 2AlCl3 (气)＋3CO2 (气)＋3H2 (气) → Al2O3 (固)＋ 6HCl↑＋ 3CO(气)↑ (CH3 )3Ga(气)＋AsH3 (气) 630～675℃→ GaAs(固)＋3CH4 (气) ↑ 3SiH4 (气)＋ 4NH3 (气) →Si3N4 (固)＋12H2 (气)↑