N(CO)(气)19-240N(固)+4CO↑ CH4(气)-9010→C(固)+2H2↑ T4(气)加热→>T(固)+2l2↑ 用作热分解反应沉积的气态化合物原料主要有: 硼的氯化物,氢化物; ●第Ⅳ族大部分元素的氢化物和氯化物; VB、ⅥB族的氢化物和氯化物; ●铁、镍、钴的羰基化合物和羰基氯化物; 以及铁、镍、铬、铜等的金属有机化合物等。Ni(CO)4 (气) 190～240℃→ Ni(固)＋4 CO↑ CH4 (气) 900~1200℃→ C(固)＋2H2 ↑ TiI4 (气) 加热 → Ti(固)＋2I2 ↑ 用作热分解反应沉积的气态化合物原料主要有： ⚫ 硼的氯化物，氢化物； ⚫ 第IV族大部分元素的氢化物和氯化物； ⚫ VB、VIB族的氢化物和氯化物； ⚫ 铁、镍、钴的羰基化合物和羰基氯化物； ⚫ 以及铁、镍、铬、铜等的金属有机化合物等