时光刻机进入真空曝光状态)，真空曝光装置的指示灯“亮”，控制 按钮连接在左侧面板内的真空计上，当硅片与掩模之间的真空到达吸 附要求时，光刻机才能开始真空曝光，如果承片台不在归心位置，吸 铁盘的指示灯不亮，按下控制按钮时，光刻机不进行曝光工作。 b.分离曝光：将承片台进行归心操作，到达归心程度时，归心 装置的指示灯“亮”。然后按下右侧面板上的“分离曝光“按钮，光 刻机就进入“分离曝光”状态，（硅片与掩模间不形成真空腔），如果 承片台不在归心位置，按下“分离曝光”按钮时，光刻机不进入曝光 状态。 注意事项 1.开机时，必须先打开主机电源，然后再打开汞灯电源：关机 时，必须先关闭汞灯电源，然后再关闭主机电源。 2.汞灯在切断电源或自行熄灭后，必须将汞灯整流器的电源拨 至“关”。待汞灯完全冷却后才能再次起辉，时间约为15分钟左右。 3.光刻机在使用过程中，各运动部件如发生故障及机件卡塞等 现象，必须停止使用，查明原因，否则将损坏电子元件或机件。 4.光刻机不使用时，应罩好防尘罩，以免灰尘及其它污物侵入 光学零件，影响观察。 步骤5：显影去除曝光部分光刻胶，进行坚膜以增强黏附性： 步骤6：显微镜检查： 步骤7：用光刻胶做为掩膜干法刻蚀： 步骤8：去胶： 时光刻机进入真空曝光状态)，真空曝光装置的指示灯“亮”，控制 按钮连接在左侧面板内的真空计上，当硅片与掩模之间的真空到达吸 附要求时，光刻机才能开始真空曝光，如果承片台不在归心位置，吸 铁盘的指示灯不亮，按下控制按钮时，光刻机不进行曝光工作。 b．分离曝光：将承片台进行归心操作，到达归心程度时，归心 装置的指示灯“亮”。然后按下右侧面板上的“分离曝光"按钮，光 刻机就进入“分离曝光”状态，(硅片与掩模间不形成真空腔)，如果 承片台不在归心位置，按下“分离曝光”按钮时，光刻机不进入曝光 状态。 注意事项 1．开机时，必须先打开主机电源，然后再打开汞灯电源；关机 时，必须先关闭汞灯电源，然后再关闭主机电源。 2．汞灯在切断电源或自行熄灭后，必须将汞灯整流器的电源拨 至“关”。待汞灯完全冷却后才能再次起辉，时间约为 15 分钟左右。 3．光刻机在使用过程中，各运动部件如发生故障及机件卡塞等 现象，必须停止使用，查明原因，否则将损坏电子元件或机件。 4．光刻机不使用时，应罩好防尘罩，以免灰尘及其它污物侵入 光学零件，影响观察。 步骤 5：显影去除曝光部分光刻胶，进行坚膜以增强黏附性； 步骤 6：显微镜检查； 步骤 7：用光刻胶做为掩膜干法刻蚀； 步骤 8：去胶；