d 0.3m 图3氧化膜形貌 Fig.3 Morphology of the oxidation film (b) 图4厚氧化膜形貌及衍射斑点 Fig.4 Morphology and dif- fractionpattern'for a thick 阙·… oxidation film 好53m 图5薄氧化膜形貌及衍射斑点标定 Fig.5 Morphology and diffraction pattern for a thin oxidstion film 112卜 妹 一尸 副多一 尸 返 。 二 二 节 口二 与 ℃ 二 ， 笋必， 补产 ’ 衬。曰、 同 曰 ，，。 。 、 二 。 。 。 一 乞犷了， 才 了 ， 丫 屯苔头胃 上一习 ’ · 二 ’ ’ 黔 丫二 习 洒 ，心八臼‘ 哎沪勺﹄工界 图 一 。 文献 中的等温氧化曲线 。 ‘ 。 分别 为用文献〔 川 的数据经式 ， 和 处理后的曲线 。 。 ， ， 一 ， 已 ， ， ，。 。 氧化膜的 形貌观 察及结构 标定 形貌观 察 经 扫描电镜和 透射电镜观察 ， 发现氧化初 期氧化 膜呈雪 花 状 结晶 ， 见 图 。 根据 对不 同氧化时 间的单 晶硅 氧化 膜的观察 ， 认 为其氧化 膜生 长的机理是 首先在 活性 中心 吸附氧 ， 氧与硅发生化学反 应生核 而 后按雪 花状结 晶生 长 ， 在 同一雪花结 晶 中有不 同取 向的 晶粒 。 当不 同的雪花相遇到一起 时 ， 产生 明显 的 晶界 。 相遇 后雪 花的 二 维面积不 再增 大 ， 而 膜 厚将不 断增加 ， 最后在 氧化 膜表面 已 观察不 到 雪 花状结 晶 。 氧化膜结 构 的标 定 用 约化胞法对氧化膜的衍射斑 点进行 了标 定 ， 证 明 了单晶硅生长的氧化 膜为不 同结构的二氧化硅 ， 见图 、 。 飞飞