MEMs的材料与加工技术 Si是微电子技术的基石,它仍然是MEMs技术应用的 主要材料。其他用到的材料还包括:金属、SiNⅹ SO2、SC、金刚石等 MEMs的加工技术有 ◆S的体加工技术 ◆Si的表面加工技术 ◆高尺度比的微型电铸技术等MEMs的材料与加工技术 ◆ Si的体加工技术 ◆ Si的表面加工技术 ◆ 高尺度比的微型电铸技术等 ◼ Si是微电子技术的基石，它仍然是MEMs技术应用的 主要材料。其他用到的材料还包括：金属、SiNx、 SiO2、 SiC、金刚石等 ◼ MEMs的加工技术有