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北京科技大学材料科学学院:《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第九讲 微机电技术和纳米机电技术 MicroEelectroMechanical & NanoEelectroMechanical systems(MEMs & NEMs)

一、 MEMs发展简介 二、MEMs的制备技术基础 三、典型应用的MEMs
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