薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials Nanotechnology 北京科技大学材料科学学院唐伟忠 62332475 E-mai wztang@mater.ustb.edu.cn 课件下载网址:wztangteaching(@sina.com 下载密码 123456
薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology 北京科技大学材料科学学院 唐伟忠 Tel: 6233 2475 E-mail: wztang@mater.ustb.edu.cn 课件下载网址: wztang_teaching@sina.com 下 载 密 码: 123456
第九讲 微机电技术和纳米机电技术 MicroElectromechanical NanoElectromEchanical systems MEMs nems
第九讲 微机电技术和纳米机电技术 MicroEelectroMechanical & NanoEelectroMechanical systems (MEMs & NEMs)
MEMs和NEMs Scale-up& scale-down:现代技术一方面表现为 工程的规模越来越大,如三峡工程、人工登月计 划等;另一方面,又越来越强调材料、器件、功 能的小型化、微型化,如I、MEMs技术等 ■这些都是集现代技术之大成的产物。其中,所谓 纳米技术就是目前最热的研究领域 Bottom-up& top-down技术:纳米技术中的后者 是从宏观尺度的材料开始,运用各种加工手段, 形成微观尺度的系统的技术。在本课程中主要介 后
◼ Scale-up & scale-down:现代技术一方面表现为 工程的规模越来越大,如三峡工程、人工登月计 划等;另一方面,又越来越强调材料、器件、功 能的小型化、微型化,如IC、MEMs技术等 ◼ 这些都是集现代技术之大成的产物。其中,所谓 纳米技术就是目前最热的研究领域 ◼ Bottom-up & top-down技术:纳米技术中的后者 是从宏观尺度的材料开始,运用各种加工手段, 形成微观尺度的系统的技术。在本课程中主要介 绍后者 MEMs和NEMs
MEMs技术 ■MEMs技术集成电子技术、传感器技术、材料 技术等多领域的技术成果,是包含微电子器件和 各种非电处理单元——压力、温度、化学、机械 光学传感、执行元件于一身的微型器件 MEMs是现代技术的一个新的发展方向,它起源 于上世纪的60年代,并正逐渐发展成为一个独立 的产业
◼ MEMs技术集成了电子技术、传感器技术、材料 技术等多领域的技术成果,是包含微电子器件和 各种非电处理单元——压力、温度、化学、机械 、光学传感、执行元件于一身的微型器件 ◼ MEMs是现代技术的一个新的发展方向,它起源 于上世纪的60年代,并正逐渐发展成为一个独立 的产业 MEMs技术
MEMS市场趋势预测m IIL-VS REVIEW AUGUST 2005 The 2003-2007 MEMS mukot in s millions 群LA L
MEMS市场趋势预测 III-Vs REVIEW, AUGUST 2005 III-Vs REVIEW THE ADVANCED SEMICONDUCTOR MAGAZINE VOL 18 - NO 6 - AUGUST 2005
现代汽车中的压力测量 MEMS Aceleomeet fow Air Conditioning Airbag Deployment ABS brake tine pressure tluid Pressure Engine o pressure ) Transmisson fluid pressure Fuel injection prose Tire pessure BMW740汽车共装备有70多只MEMs
现代汽车中的压力测量 ⎯⎯ MEMs BMW740i汽车共装备有70多只MEMs
MEMs的材料与加工技术 Si是微电子技术的基石,它仍然是MEMs技术应用的 主要材料。其他用到的材料还包括:金属、SiNⅹ SO2、SC、金刚石等 MEMs的加工技术有 ◆S的体加工技术 ◆Si的表面加工技术 ◆高尺度比的微型电铸技术等
MEMs的材料与加工技术 ◆ Si的体加工技术 ◆ Si的表面加工技术 ◆ 高尺度比的微型电铸技术等 ◼ Si是微电子技术的基石,它仍然是MEMs技术应用的 主要材料。其他用到的材料还包括:金属、SiNx、 SiO2、 SiC、金刚石等 ◼ MEMs的加工技术有