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北京科技大学材料科学学院:《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第四讲 薄膜材料制备的离子镀及其他PVD方法 Preparation of thin films by ion plating and other PVD methods

一、离子镀方法的原理和特点 二、 各种各样的离子镀方法 三、 其他制备薄膜的PVD方法
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