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3、 EPROM 利用叠层栅管的雪崩效应,在漏源级之间加高压形成 雪崩,产生很多高能电子,在控制栅也加高压,使浮栅带 电;加紫外线浮栅放电。 浮栅 控制栅 (多晶硅) (多晶硅) 3-4μm SiO P型硅衬底 图7-4-5叠层栅M0S管渐面示息图3、EPROM 利用 叠层栅管的雪崩效应,在漏源级之间加高压形成 雪崩,产生很多高能电子,在控制栅也加高压,使浮栅带 电;加紫外线浮栅放电
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