16-5电磁透镜具有哪几种像差?是怎样产生的,是否可以消除?如何来消除和减少像差? 最小变形圆 透镜球差的形成 透镜像散的产生示意图 球差、像散、色差 色差的产生 ●球差:是磁透镜中心区和边沿区对电子的折射能力不同引起的。 ●像散:像散是由于电磁透镜的周向磁场非旋转对称引起不同方向上的聚焦能力出现差别。 色差:色差是由入射电子的波长或能量的非单一性造成的。 球差球差的数学表达式为 0=Ca3 式中,6是最小漫散圆米径,C是球差系数,a是透镜孔径角之半(rad)。通常物镜 的C,值相当于它的焦距大小,对大多数透射电镜,C约为3mm:对高分辨透射电 镜,C,<1mm。因为6,ca,若用小孔光阑挡住外围射线,可以使球差迅速下降。 但这也使分辨率降低(d=0.61A n sin a ,因此,必须找出使两者合成效应最小的α值 像散:△r=△f·a引入一个强度和方向都可以调节的矫 正磁场即消像散器予以补偿。 色差 r=c[()+(门 一般来说,要使色差对分辨率影响很小,要求电压和电流的稳定度达到2义 106。在现代电子显微镜中,提高加速电压和透镜电流的稳定度以及适当调配透 镜的极性,可以把色差调整到分辨本领允许的范围内。球差、像散、色差 球差:是磁透镜中心区和边沿区对电子的折射能力不同引起的。 像散:像散是由于电磁透镜的周向磁场非旋转对称引起不同方向上的聚焦能力出现差别。 色差:色差是由入射电子的波长或能量的非单一性造成的。 16-5电磁透镜具有哪几种像差?是怎样产生的,是否可以消除?如何来消除和减少像差? 色差 球差 像散:∆r= ∆f • α 引入一个强度和方向都可以调节的矫 正磁场即消像散器予以补偿