内将将产生辉光放电现象,便可开始各种实验内容。 8)、实验结束时,关闭相关的测量系统,关闭真空计;将高压电源调至0,关闭 高压开关按钮,关闭气路,关闭真空泵,关闭冷却水,关闭总电源,拔掉总 电源线。 实验原理 气体放电 气体放电可以采用多种能量激励形式,如直流、微波、射频等能量形式。其 中直流放电因为结构简单、成本低而受到广泛应用。直流放电形成辉光等离子体 的典型结构如图(3)所示 可调高压源 等离子体放电管 电子 …::∷∵∵∵ ∴·∴∷ .… 阳极 阴极 正离子 接真空泵 图3:气体放电管工作原理图10 内将将产生辉光放电现象，便可开始各种实验内容。 8）、实验结束时，关闭相关的测量系统，关闭真空计；将高压电源调至0，关闭 高压开关按钮，关闭气路，关闭真空泵，关闭冷却水，关闭总电源，拔掉总 电源线。 实验原理 气体放电 气体放电可以采用多种能量激励形式，如直流、微波、射频等能量形式。其 中直流放电因为结构简单、成本低而受到广泛应用。直流放电形成辉光等离子体 的典型结构如图（3）所示。 图3：气体放电管工作原理图